超小型単結晶引上装置
超小型単結晶引上装置（石英管タイプ） 高周波誘導加熱式による超小型の単結晶育成装置です。 特徴 超低価格を実現しました。 超小型コンパクト設計により...
PRODUCTS
製品
結晶部門
酸化物単結晶引上装置
酸化物単結晶引上装置 高周波誘導加熱による各種酸化物単結晶の引上装置です。 特徴 最大ルツボ径Φ200mmまで取付可能です。 チャンバー正面扉開閉方...
μ-PD装置（結晶引き下げ装置）
μ-PD装置（結晶引き下げ装置） 高周波誘導加熱式によるマイクロ引下げ結晶育成装置です。 特徴 高速で結晶育成が可能なため、物性評価用に最適です。 ...
高温アニール装置
高温アニール装置 高周波電源を使用し、真空引き後に不活性ガス雰囲気において、石英管内にセットしたサセプタ内の材料をアニールする装置です。 特徴 サセ...
SiC単結晶成長装置
SiC単結晶成長装置 高周波誘導加熱式によるSiC（又はAlN）単結晶成長装置です。 特徴 超小型50kW高周波電源が本体に内蔵されているため、省ス...
GaP・InP高圧合成装置
Gap・InP高圧合成装置 アンプルに封入されたGa（またはIn）とPを、一定蒸気圧のもとでGaP（またはInP）に合成する装置です。高圧ガス保安法...