1. HOME
  2. 製品案内
  3. 結晶部門
  4. 高温アニール装置

PRODUCTS

製品

高温アニール装置

高温アニール炉

高温アニール装置

高周波電源を使用し、真空引き後に不活性ガス雰囲気において、石英管内にセットしたサセプタ内の材料をアニールする装置です。

特徴

  • サセプタ昇降機構により試料の脱着が容易にできます。
  • 独自のサセプタ設計により、面内温度分布が抜群に優れています。
  • 高速アニール用として最適です。

仕様

加熱温度MAX 1900℃
高周波電源50kW
基板処理枚数4インチウェハ1枚
サセプタ寸法Φ110×50h
雰囲気真空、Ar、N₂(常圧)
到達圧力1.32×10⁻³Pa
測温放射温度計による測温
電源容量
高周波電源
3Φ 200V 60kVA
電源容量
制御部
3Φ 200V 5kV
冷却水
高周波電源
0.25MPa 50ℓ/min