電子ビーム源（光学超多層膜用）
光学超多層膜用電子ビーム源NEG-10N型 270°偏向ビームで、ビームスキャン幅±20mmを実現しました。磁気回路補正システムを採用することにより...
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電子ビーム
電子ビーム源（インナーポールピース型）
インナーポールピース型電子ビーム源NEG-F06AF型 概要 NEG-F06AF型電子ビーム源は電子ビーム源上部、上面に配置のポールピースをすべて本...
電子ビーム源（選択型）
選択型電子ビーム源NEG-06Nシリーズ 1つのベースで用途に合わせたカスタマイズが可能な電子ビーム源です。垂直性抜群の「NEG-06N型電子ビーム...
電子ビーム用 5kW電源
5kW電源（電子ビーム用）NEB-05S型、NEB-05W型 概要 NEB-05型電源シリーズは、超小型サイズで設置スペースが少ない電源です。NEB...
電子ビーム用 10kW電源
10kW電源（電子ビーム用）NEB-10SE型、NEB-10WE型 概要 NEB-10SE型電源は1電子ビーム源仕様の電源で、NEB-10WE型電源...