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選択型電子ビーム源

NEG-06Nシリーズ

選択型電子ビーム源
NEG-06Nシリーズ

1つのベースで用途に合わせたカスタマイズが可能な電子ビーム源です。
垂直性抜群の「NEG-06N型電子ビーム源」をベースに、反射電子対応型ポールピースを取付けた「NEG-06NF」の選択ができます。
さらにDEF(電磁石)を取付け加速電圧可変を可能にした「NEG-06N(F)‐D」やワイドスキャン型「NEG-06N(F)‐WS」へのカスタマイズも可能です。

共通特徴

  • ポールピースカバーを標準採用
  • EB源上面からの作業により簡単なメンテナンス
  • 抜群の安定性と再現性
  • ポールピース交換によりN型、NF型の切り替えが可能

共通仕様

最大ビーム出力6kW
ビーム加速電圧6kV ※1
エミッション電流0~1000mA
ビーム偏向方式永久磁石(270°)
ビームポジション±15mm(X/Y) ※2
ビームスキャン±15mm(X/Y) ※2
※1 オプションでDEF(2~6kV可変)追加が可能(-D型)
※2 オプションで±20mmが可能(-WS型)