電子ビーム源（光学超多層膜用）
光学超多層膜用電子ビーム源NEG-10N型 270°偏向ビームで、ビームスキャン幅±20mmを実現しました。磁気回路補正システムを採用することにより...
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1.電子ビーム源
電子ビーム源（インナーポールピース型）
インナーポールピース型電子ビーム源NEG-F06AF型 概要 NEG-F06AF型電子ビーム源は電子ビーム源上部、上面に配置のポールピースをすべて本...
電子ビーム源（選択型）
選択型電子ビーム源NEG-06Nシリーズ 1つのベースで用途に合わせたカスタマイズが可能な電子ビーム源です。垂直性抜群の「NEG-06N型電子ビーム...