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PRODUCTS

製品

インナーポールピース型電子ビーム源

NEG-F06AF

インナーポールピース型電子ビーム源
NEG-F06AF型

概要

NEG-F06AF型電子ビーム源は電子ビーム源上部、上面に配置のポールピースをすべて本体内に収納し、メンテナンスフリーとパーティクル対策を前進させる電子ビーム源です。

特徴

  • ビーム照射位置の確認が容易に行えます。(視認性の向上)
  • メンテナンス時にポールピースのクリーニングが不要となり、ポールピースに起因するトラブルが解消し安定した性能を維持します。
  • ポールピース及びカバーが消耗品から無くなります。
  • 連続生産機に最適です。
  • ポールピースに蒸着材料が付着することが皆無となり、パーティクルの問題が解消します。

仕様

最大ビーム出力6kW (6kV・800mA)
ビーム加速電圧6kV
エミッション電流0~800mA
ビーム偏向270°
ビームポジション±15mm
ビームスキャン±15mm
外形寸法W240×D160×H98
重量12kg