電子ビーム用 5kW電源
5kW電源(電子ビーム用)
NEB-05S型、NEB-05W型
概要
NEB-05型電源シリーズは、超小型サイズで設置スペースが少ない電源です。
NEB-05S型電源は1電子ビーム源仕様、NEB-05W型電源は2電子ビーム源仕様となっています。
特徴
- 外部エミッション制御回路により、レート制御が可能です。
- 加速電圧/エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載です。
- 外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能です。
- 放電抑制装置を標準搭載です。
仕様
最大ビーム出力 | 5kW |
電源 | 3Φ 200V ±10% 8kVA |
加速電圧 | -4kV~-6kV |
リップル率 | 5%以下 |
エミッション電流 | 0~800mA |
ビームポジション | ±15mm(X/Y) |
ビームスキャン | ±15mm(X/Y) オプション±20mm |
ビームスキャニング周波数 | X=50Hz、Y=500Hz |
外部制御信号 | 約15項目 |
重量 | 150kg |