5kW電源（電子ビーム用）
NEB-05S型、NEB-05W型

概要

NEB-05型電源シリーズは、超小型サイズで設置スペースが少ない電源です。
NEB-05S型電源は1電子ビーム源仕様、NEB-05W型電源は2電子ビーム源仕様となっています。

特徴

• 外部エミッション制御回路により、レート制御が可能です。
• 加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載です。
• 外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能です。
• 放電抑制装置を標準搭載です。

仕様