10kW電源（電子ビーム用）
NEB-10SE型、NEB-10WE型

概要

NEB-10SE型電源は1電子ビーム源仕様の電源で、NEB-10WE型電源は2電子ビーム源仕様の電源です。

特徴

• 外部エミッション制御回路により、レート制御が可能です。
• 加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載です。
• 外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能です。
• 放電抑制装置を標準搭載です。
• 本体は小型コンパクト設計です。

仕様