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製品

10kW電源(電子ビーム用)

電子ビーム用電源

10kW電源(電子ビーム用)
NEB-10SE型、NEB-05WE型

概要

NEB-10SE型電源は1電子ビーム源仕様の電源で、NEB-10WE型電源は2電子ビーム源仕様の電源です。

特徴

  • 外部エミッション制御回路により、レート制御が可能です。
  • 加速電圧/エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載です。
  • 外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能です。
  • 放電抑制装置を標準搭載です。
  • 本体は小型コンパクト設計です。

仕様

最大ビーム出力10kW
電源3Φ 200V ±10% 13kVA
加速電圧-4kV~-10kV
リップル率5%以下
エミッション電流0~1000mA
ビームポジション±15mm(X/Y)
ビームスキャン±15mm(X/Y) オプション±20mm
ビームスキャニング周波数X=50Hz、Y=500Hz
外部制御信号約15項目
重量250kg