酸化物単結晶引上装置
酸化物単結晶引上装置
高周波誘導加熱による各種酸化物単結晶の引上装置です。
特徴
- 最大ルツボ径Φ200mmまで取付可能です。
- チャンバー正面扉開閉方式によりホットゾーンのセットが容易にできます。
仕様
| 加熱温度 | MAX2200℃ |
| 高周波電源 | 50kW |
| 引上軸 移動速度 | 0.2～20mm/h |
| 引上軸 回転速度 | 2～60rpm |
| 引上軸 早送り移動 | 30～300mm/min |
| 引上軸 移動ストローク | 600mm |
| ワークコイル 移動ストローク | 200mm(手動) |
| ルツボ寸法 | Φ200×200H |
| 雰囲気 | Ar,N₂,O₂ |
| 電源容量 高周波電源 | 3Φ 200V 60kVA |
| 電源容量 制御部 | 1Φ 100V 3kVA |
| 冷却水 高周波電源 | 0.2MPa 50ℓ/min |
| 冷却水 引上炉 | 0.2MPa 25ℓ/min |