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酸化物単結晶引上装置

酸化物単結晶引上装置

酸化物単結晶引上装置

高周波誘導加熱による各種酸化物単結晶の引上装置です。

特徴

  • 最大ルツボ径Φ200mmまで取付可能です。
  • チャンバー正面扉開閉方式によりホットゾーンのセットが容易にできます。

仕様

加熱温度MAX2200℃
高周波電源50kW
引上軸
移動速度
0.2~20mm/h
引上軸
回転速度
2~60rpm
引上軸
早送り移動
30~300mm/min
引上軸
移動ストローク
600mm
ワークコイル
移動ストローク
200mm(手動)
ルツボ寸法Φ200×200H
雰囲気Ar,N₂,O₂
電源容量
高周波電源
3Φ 200V 60kVA
電源容量
制御部
1Φ 100V 3kVA
冷却水
高周波電源
0.2MPa 50ℓ/min
冷却水
引上炉
0.2MPa 25ℓ/min