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μ-PD装置(結晶引き下げ装置)

μ-PD装置

μ-PD装置(結晶引き下げ装置)

高周波誘導加熱式によるマイクロ引下げ結晶育成装置です。

特徴

  • 高速で結晶育成が可能なため、物性評価用に最適です。
  • ルツボ底の形状に合わせた結晶育成が可能です。
  • グローブボックス方式により、高い作業性を実現しています。

仕様

加熱温度MAX 2100℃
高周波電源30kW
移動速度
低速
0.05~1.20mm/min
移動速度
中速
1.0~30.0mm/min
移動速度
高速
12~350mm/min
移動ストローク675mm(結晶引下げ可能長300mm)
ルツボ外径Φ20×46H~Φ80×80H
電源容量
高周波電源
3Φ 200V 36kVA
電源容量
制御盤
3Φ 200V 6kV
冷却水70ℓ/min 0.2MPa
雰囲気O₂、H2、Ar、N₂、Air(常圧)