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超小型単結晶引上装置

超小型単結晶引上装置

超小型単結晶引上装置(石英管タイプ)

高周波誘導加熱式による超小型の単結晶育成装置です。

特徴

  • 超低価格を実現しました。
  • 超小型コンパクト設計により、どこにでも簡単に設置できます。

仕様

加熱温度MAX 2100℃
高周波電源5kW
引上軸
移動速度
1~10mm/h
引上軸
回転速度
2~60rpm
引上軸
早送り移動
30~300mm/min
引上軸
移動ストローク
600mm
ルツボ寸法Φ30×30H
雰囲気Ar及び大気
電源容量
高周波電源
3Φ200V 6kVA
電源容量
制御部
1Φ100V 500VA
冷却水高周波電源 0.2MPa 6ℓ/min