超小型単結晶引上装置
超小型単結晶引上装置（石英管タイプ）
高周波誘導加熱式による超小型の単結晶育成装置です。
特徴
- 超低価格を実現しました。
- 超小型コンパクト設計により、どこにでも簡単に設置できます。
仕様
| 加熱温度 | MAX 2100℃ |
| 高周波電源 | 5kW |
| 引上軸 移動速度 | 1～10ｍｍ/h |
| 引上軸 回転速度 | 2～60rpm |
| 引上軸 早送り移動 | 30～300mm/min |
| 引上軸 移動ストローク | 600mm |
| ルツボ寸法 | Φ30×30H |
| 雰囲気 | Ar及び大気 |
| 電源容量 高周波電源 | 3Φ200V 6kVA |
| 電源容量 制御部 | 1Φ100V 500VA |
| 冷却水 | 高周波電源 0.2MPa 6ℓ/min |