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4.各種研究装置

真空熱処理装置

真空熱処理装置

真空熱処理装置

特徴

  • 高真空中でコンタミの無い純度の高い熱処理が可能です。
  • 温度分布が良く均等な熱処理ができます。
  • ガス冷却機構により冷却時間を短縮できます。
  • 縦型のため、設置面積を取りません。
  • メンテナンスが容易な正面扉方式です。

仕様

型式均熱部電源容量冷却水
NEV-IA80Φ80×80H16kVA30ℓ/min
NEV-IA120Φ120×120H20kVA40ℓ/min
NEV-IA200Φ200×200H30kVA50ℓ/min
真空到達圧力(ブランク時 10-³Pa) 電源電圧 3Φ200V