真空熱処理装置 真空熱処理装置 特徴 高真空中でコンタミの無い純度の高い熱処理が可能です。温度分布が良く均等な熱処理ができます。ガス冷却機構により冷却時間を短縮できます。縦型のため、設置面積を取りません。メンテナンスが容易な正面扉方式です。 仕様 型式均熱部電源容量冷却水NEV-IA80Φ80×80H16kVA30ℓ/minNEV-IA120Φ120×120H20kVA40ℓ/minNEV-IA200Φ200×200H30kVA50ℓ/min真空到達圧力(ブランク時 10-³Pa) 電源電圧 3Φ200V