電子ビーム源（インナーポールピース型）

インナーポールピース型電子ビーム源
NEG-F06AF型

概要

NEG-F06AF型電子ビーム源は電子ビーム源上部、上面に配置のポールピースをすべて本体内に収納し、メンテナンスフリーとパーティクル対策を前進させる電子ビーム源です。

特徴

• ビーム照射位置の確認が容易に行えます。（視認性の向上）
• メンテナンス時にポールピースのクリーニングが不要となり、ポールピースに起因するトラブルが解消し安定した性能を維持します。
• ポールピース及びカバーが消耗品から無くなります。
• 連続生産機に最適です。
• ポールピースに蒸着材料が付着することが皆無となり、パーティクルの問題が解消します。

仕様