電子ビーム関連
蒸着物質に対して,
電子ビームを照射し,
再現性のある蒸着を行います.
●超多層膜
●ARコート など
5kW 電源/制御盤
5kW EB源
20kW 電源
超小型・低価格
超多層膜用
10kW 電源/制御盤
10kW EB源
付属品等
結晶関連装置
高周波加熱及び抵抗
加熱を利用して,様々
な結晶の開発・製造を
行う装置です.
●SiC単結晶
 バルク,エピウェハ など
●窒化物単結晶
 窒化アルミ など
●酸化物単結晶
ニオブ酸リチウム など
ブリッジマン装置
その他
CZ装置
自動直径制御装置(ADC)
FZ装置
TSSG装置
LPE装置
GaP・InP高圧合成装置
高温アニール装置
SiC-CVD装置
SiC・AlN単結晶成長装置
トリアーク式単結晶引上装置
磁場中高圧単結晶引上装置
酸化物単結晶引上装置
雰囲気制御型高温熱処理炉
各種設計製作装置
金属系新素材関連装置
高周波加熱を利用して,
金属を加熱又は溶解し,
様々な実験や新素材の
開発を行う装置です.

●アモルファス金属
 リボン・薄片 など
●金属粉末
 アトマイズ粉 など
各種設計製作装置
その他
アーク溶解装置
高周波溶解装置
粉末作製装置
液体急冷凝固装置
グローブボックス
一方向凝固・単結晶作製装置
連続鋳造装置
メカニカルアロイング装置
ホットプレス装置
アークキャスティング装置
真空アーク溶解装置
レビテーション装置
ゾーンメルティング装置
高純度活性金属真空溶解装置
真空溶解装置
大気溶解装置
回転電極法装置
回転ディスク装置
水アトマイズ装置
ガスアトマイズ装置
液中紡糸装置
急冷薄片製造装置
液体急冷凝固装置
高周波電源
加熱・溶解用の高周波電源です.
自社設計製作により,各種装置
に最適な電源を供給します.
高周波電源

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マイクロ引下げ装置
引下げ装置
超小型単結晶引上装置



6kW EB源

NEG-F06AF
NEG-06Nシリーズ
各種カスタマイズ可能EB源
インナーポールピースEB源
小型連続鋳造装置
超小型傾角鋳造装置